马高印博士在物理与电子电气工程学院举办线上學術講座
日期:2021-09-17 15:13:40  发布人:电子信息与电气工程学院  浏览量:41 打印本文





會議現場


   本網訊(通訊員 向陽)916日下午,上海交大馬高印博士受邀在物理與電子電氣工程學院(以下簡稱“物電”學院)104教室,爲2019級電信專業的學生舉辦一場題爲“矽基MEMS熱膜式空氣質量流量傳感器”的專職講座。 本次線上講座由物電學院李亞蘭博士主持。


馬高印在2010年畢業于上海交通大學微電子學與固體電子學專業,主要從事MEMS器件與技術研究。此次講座就矽基MEMS熱膜式空氣質量流量傳感器設計技術的內容進行重點報告。同時還講解了該項目的研制背景,難點與不足,技術創新點,達到的技術水平,應用情況經濟與社會效益等各個方面。其中,MEMS空氣質量流量傳感器需要解決的五個關鍵技術是設計、加工工藝、電路、芯片測試、量計測試標定技術,其包含十一個技術難點,馬高印爲同學們一一作出講解。在技術水平方面,該項目具有完全自主知識産權,馬高印單位研制的矽基MEMS熱膜式空氣質量流量傳感器在測量範圍、精度、穩定性、可靠性等方面達到國內領先、國際先進水平。


本次線上報告會在馬高印的悉心講解下,學生接觸認識到矽基MEMS熱膜式空氣質量流量傳感器的設計前沿對于我國科技發展的重要性。




編輯:蔡遠 李詩韻 審核:鄧建安

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